
| Pasul grătarului | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Expansiune termică | 10,6 × 10-6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Rezoluţie | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Repetabilitate | ±1 increment | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Viteză maximă m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Tip de ieșire | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Accelerație maximă | 20 m/s² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Protecţie | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Alimentare electrică | 60mA maxim | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Deplasare de fază | 90±5°electric | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura de funcționare | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura de depozitare | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Umiditate | 100% necondensat |